硅材料及其制品检测
概述
目前,国际通用作法是把商品硅分成金属硅和半导体硅。金属硅是由石英和焦炭在电热炉内冶炼成的产品,主成分硅元素的含量在98%左右(近年来,含si量99.99%的也归在金属硅内),其余杂质为铁、铝、钙等。半导体硅用于制作半导体器件的高纯度金属硅。是以多晶、单晶形态出售,前者价廉,后者价昂。
检验范围
晶体硅,石英玻璃管材、石英加热管产品,石英电光源产品,石英器件、石英砂和硅微粉,碳化硅,金属硅,熔融石英,水晶工艺品等10大类45项产品的检验。
相关检测标准
gb/t 14849 工业硅化学分析方法
gb/t 2881 工业硅
GB/T 24581 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
GB/T 6616 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定非接触涡流法
GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法
SEMI MF1630 单晶硅Ⅲ-Ⅴ级杂质的低温FT-IR分析测试方法
GB/T 1553 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法
SEMI MF 1535-1106 非接触微波反射光电导衰减测试硅晶片载流子复合寿命的方法
GB/T 1557 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1558 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 4061 硅硅片径向电阻率变化的测量方法
GB/T 11073 多晶断面夹层化学腐蚀检验方法